太阳能光伏发电最关键的材料是高纯硅．三氯甲硅烷（SiHCl₃）还原法是当前制备高纯硅的主要方法．生产流程示意图如下：

（1）按物质的分类标准，三氯甲硅烷（SiHCl₃）是_____（填化合物或混合物）．
（2）“精馏”也是蒸馏的一种形式．通过蒸馏可把液体混合物分离开，原理是利用混合物各成分的_____（填“熔点”或“沸点”）不同．
（3）写出SiHCl₃（粗）和氢气反应生成高纯硅和氯化氢气体的反应方程式：_____．
（4）为了达到绿色化学和资源综合利用的目的，上述生产流程中某些物质可循环使用，这些物质是_____（填化学式）．
（5）整个制备过程必须达到无水无氧。在H₂还原SiHCl₃过程中若混入O₂，可能引起的后果是_____。