硅(Si)是制造半导体芯片的原料。利用稻壳制备纳米硅的主要工艺流程如下。

(1)上述流程所涉及到的物质中，属于氧化物的是_______。
(2)还原炉中，发生反应的化学方程式为_______。
(3)酸浸槽中，加入盐酸的目的是_______。