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单选题-单题 容易0.94 引用5 组卷1648
光刻机是制作芯片的核心装置,主要功能是利用光线把掩膜版上的图形印制到硅片上。如图所示,DUV光刻机使用的是深紫外线,其波长为193nm。为提高投影精细图的能力,在光刻胶和投影物镜之间填充液体以提高分辨率,则与没加入液体相比,下列说法正确的是(       

A.深紫外线进入液体后传播速度变大
B.传播相等的距离,深紫外线在液体中所需的时间更长
C.深紫外线光子的能量在液体中更大
D.深紫外线在液体中更容易发生衍射,能提高分辨率
2024·辽宁·模拟预测
知识点:折射率的波长表达式和速度表达式光发生明显衍射的条件光子能量的公式 答案解析 【答案】很抱歉,登录后才可免费查看答案和解析!
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