单选题-单题 适中0.65 引用3 组卷409
光刻机是制造芯片的核心装备，如图甲所示，它采用类似照片冲印的技术，通过曝光去除晶圆表面保护膜的方式，先将掩膜版上的精细图形印制到硅片上，然后将晶圆浸泡在腐化剂中，失去保护膜的部分被腐蚀掉后便形成电路。某光刻机使用的是真空中波长为
的极紫外线光源（
），如图乙所示，在光刻胶和投影物镜之间填充了折射率为1.8的液体用于提高光刻机投影精细图的能力，则该紫外线由真空进入液体后（ ）
的极紫外线光源（），如图乙所示，在光刻胶和投影物镜之间填充了折射率为1.8的液体用于提高光刻机投影精细图的能力，则该紫外线由真空进入液体后（ ） | A．光子能量减小 | B．传播速度不变 |
C．波长变为 | D．更容易发生明显衍射 |
2023·贵州·一模
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光刻机又名“掩模对准曝光机”，是制造芯片的核心装备，它是利用光源发出的紫外线，将精细图投影在硅片上，再经技术处理制成芯片。为提高光刻机投影精细图的能力，在光刻胶和投影物镜之间填充液体，提高分辨率，如图所示。则加上液体后，下列说法中正确的是（ ）
| A．紫外线进入液体后光子能量增加 |
| B．紫外线在液体中的波长比在真空中短 |
| C．传播相等的距离，紫外线在液体中比在真空中的时间长 |
| D．紫外线在液体中比在空气中更容易发生衍射 |
光刻机利用光源发出的紫外线，将精细图投影在硅片上，再经技术处理制成芯片。为提高光刻机投影精细图的能力，在光刻胶和投影物镜之间填充液体，提高分辨率，如图所示。则加上液体后（ ）
| A．紫外线进入液体后光子能量增加 |
| B．传播相等的距离，在液体中所需的时间变短 |
| C．紫外线在液体中比在空气中更容易发生衍射，能提高分辨率 |
| D．紫外线在液体中波长比真空中小 |
光刻机利用光源发出的紫外线，将精细图投影在硅片上，再经技术处理制成芯片。为提高光刻机投影精细图的能力，在光刻胶和投影物镜之间填充液体，提高分辨率，如图所示。若浸没液体的折射率为
，当不加液体时光刻胶的曝光波长为
，则加上液体后（ ）
，当不加液体时光刻胶的曝光波长为，则加上液体后（ ） | A．紫外线进入液体后波长变短，光子能量增加 |
| B．传播相等的距离，在液体中所需的时间变短 |
| C．紫外线在液体中比在空气中更容易发生衍射，能提高分辨率 |
| D．在液体中的曝光波长约为117mm |
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