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解答题 较难0.4 引用1 组卷395
物理气相沉积镀膜是芯片制作的关键环节之一,如图1是该设备的平面结构简图,以M点位置为原点建立坐标系.初速度不计的氩离子(比荷)经电压的电场加速后,从C点水平向右进入竖起向下的场强为的匀强电场,恰好打到电场、磁场的竖直分界线I最下方M点(未进入磁场)并被位于该处的金属靶材全部吸收,CM两点的水平距离为0.5m。靶材溅射出的部分金属离子(比荷)从M点沿各个方向进入平面内的两匀强磁场区域,速度大小均为,并沉积在固定基底上,M点到基底的距离为。基底与xy轴方向夹角均为45°,大小相等、方向相同(均垂直纸面向内)的两磁场的分界线Ⅱ过M点且与基底垂直。(两种离子均带正电,忽略重力及离子间相互作用力。)求:
(1)CM两点的高度差;
(2)在平面内,基底上可被金属离子打中后镀膜的区域长度;
(3)金属离子打在基座上所用时间最短时粒子的入射方向与分界线Ⅱ的夹角的正弦值;
(4)两磁场大小不变、方向相反(均垂直纸面),以M点位置为原点建立坐标系,如图2所示,某个从靶材溅射出的金属离子(比荷),从M点以速度射入平面,且与轴正方向的夹角的正切值为0.25,求该金属离子打到基底时,在中的坐标。(基底在轴方向足够大)
      
22-23高二下·浙江宁波·期末
知识点:带电粒子在匀强电场中做类抛体运动的相关计算带电粒子在直边界磁场中运动 答案解析 【答案】很抱歉,登录后才可免费查看答案和解析!
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