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解答题 较难0.4 引用1 组卷387
在芯片制造过程中,离子注入是其中一道重要的工序。如图所示的是离子注入原理的示意图,离子经电场加速后沿水平方向进入速度选择器,速度为的离子射出后进入磁分析器Ⅰ,只有特定比荷的离子才能进入偏转系统Ⅱ,再注入水平放置的硅片上。磁分析器Ⅰ中的匀强磁场的磁感应强度大小为B,方向垂直纸面向外,磁分析器Ⅰ的截面是矩形,矩形的长为,宽为,在其宽和长的中心位置CD处各有一个小孔;半径为L的圆形偏转系统Ⅱ内存在垂直于纸面向外、磁感应强度大小可调的匀强磁场,DMN在一条竖直直线上,为圆形偏转系统的直径,最低点M到硅片的距离,不计离子重力。
(1)求能通过D点进入磁偏转系统的离子的比荷;
(2)若偏转系统磁感应强度大小的取值范周为,求硅片上离子往入的宽度。
2023·吉林通化·模拟预测
知识点:基于速度选择器的质谱仪 答案解析 【答案】很抱歉,登录后才可免费查看答案和解析!
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